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    1. 晶圆检测设备(bèi)

      产品简(jiǎn)介

      采(cǎi)用高分辨(biàn)率(lǜ)成像(xiàng)的(de)明暗场(chǎng)晶圆表面检测,基(jī)于图(tú)像算法、检测模型和良(liáng)品(pǐn)异(yì)常检测三种模式,检出晶圆表面缺陷,并提供数据(jù)统计分析

      2D检测精(jīng)确度
      um

      1

      UPH
      pcs/h

      60

      漏检率(lǜ)
      ppm

      ≤50

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